平面研磨机ART-610Q-01
一、机床配置
- 1.1 ART-610Q-01产品加工精度
(以下为室内加工试验结果,加工精度和公差受加工材料及经验因素影响。)
工件直径(对角线) |
平面度(单面) |
平行度(单面) |
粗糙度(单面) |
1mm<φ<50mm |
0.001mm |
0.002mm |
Ra1.6-0.02 μm |
50mm<φ<150mm |
0.003mm |
0.005mm |
Ra1.6-0.02 μm |
150mm<φ<240mm |
0.005mm |
0.01mm |
Ra1.6-0.02 μm |
1.2 ART-610Q-01的适用范围
如上表所示,该设备适合加工φ≤240mm的工件;工件尺寸越小,能做到的精度越高。对于工件的厚度也有限制,一般在1-100mm(原则上是能装进夹具);如:粉末冶金、镁铝合金、硅片、光学玻璃、陶瓷片以及其它超硬材料。(参考案例如下)
1.3 ART-610Q-01加工原理-研磨抛光工艺流程
1.4 加工原理:化学机械抛光 ( CMP )
工件在压力和化学研磨液的条件下,设备使工件与研磨盘做相反方向转动产生的磨擦来加工。
二、ART-610Q-01特点介绍
2.1机械硬件部分
2.1.1机架:高强度(HT-250)铸造机身,一次成型,经时效处理,稳定性更强;设备质量所引起的惯性与电机功率匹配,即使研磨盘高速运行时,机器振动也很小。
2.1.2电机:采用台湾TECO电机,耐热温度高,使用寿命长,斜齿轮传动平稳、精度高。
2.1.3主轴:采用哈尔滨(HRB)圆锥滚子轴承,有较强的耐腐蚀性,承受负荷能力强,在高速运转下也能有保持高精度。
2.1.4气缸:采用日本SMC气缸,能够对工件实现无极调压;仅需在触摸屏上调节就能够得到最适合的加工压力。
2.1.5工作台:工作台面采用304不锈钢,防漏水、不怕研磨液的腐蚀。
2.1.6电气:PLC等电气部件均采用施耐德品牌。
2.1.7设备结构图:(不排除设备升级变更尺寸,具体数据以实际出货为准)
2.2软件控制部分
控制系统:
采用诺布特自主研发的研磨控制系统,该设备荣获国家技术专利。
人机界面:
该设备采用触摸屏控制,如下图所示;触摸屏除了能精确的设定加工参数,还能时时显示加工进度和设备运行状态。
三、主要技术参数(不排除设备升级变更参数,具体参数以实际出货为准)
四、主要配置清单(不排除设备升级变更品牌,具体以实际出货为准)
部件名称 |
品牌 |
部件名称 |
品牌 |
变频器 |
施耐德 |
气动元件 |
国产 |
PLC |
施耐德 |
主电机 |
台湾TECO |
低压电器 |
施耐德 |
减速机 |
台湾TECO |
旋钮开关 |
施耐德 |
蠕动泵 |
国产 |
触摸屏 |
屏通 |
水冷系统 |
诺布特 |
主轴 |
哈轴(HRB) |
陶瓷环 |
诺布特 |
气缸 |
日本SMC |
搅拌机 |
诺布特 |
五、设备出厂配置清单(不排除设备升级变更部分内容,以实际出货为准)
货物名称 |
数量 |
属性 |
备注 |
ART-610Q-01 |
1台 |
设备主体 |
包含物流送货上门、安装调试、设备操作培训等。 |
设备维修手册 |
1本 |
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使用说明书 |
1本 |
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一年保修卡 |
1份 |
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配重砝码 |
3组 |
相关配件(赠送) |
其他未列明,出货时配齐不影响使用 |
搅拌装置 |
1套 |
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水冷系统 |
1套 |
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供液装置 |
1套 |
||
清洗排水 |
1套 |
||
修盘配件 |
1套 |
||
工具箱 |
1套 |
||
抛光皮 |
1张 |
配套耗材(赠送) |
耗材是针对客户的工艺赠送 |
研磨液 |
1桶 |
||
抛光液 |
1桶 |
||
底座+研磨盘 |
1套 |
||
工艺制程 |
整套 |
工艺 |
工程师上门服务 |